辽宁半导体设备崛起：政策金融双轮驱动

浑河之畔，铁西区的老厂房曾托起新中国工业的脊梁，而今，沈阳正以精密半导体设备的嗡鸣续写传奇。在京津冀与长三角的半导体版图之外，辽宁工业重镇用二十年时间破茧成蝶，将老工业基地的厚重积淀熔铸成中国半导体设备国产替代的东北力量。

截至2025年5月底，辽宁省上市公司数量共84家，高新技术企业占比过半，以拓荆科技、芯源微、富创精密等为代表的半导体设备企业交出了一份崭新的资本市场“辽宁答卷”。辽宁企业在一个又一个领域打破海外垄断，托起国产半导体设备的脊梁。

从钢铁轰鸣到“芯片森林”，辽宁在资本市场从无到有跑出了芯源微、神工股份、拓荆科技等5家半导体上市公司，半导体设备产业集群初现规模。沈阳市集成电路产业集群重点企业数量已达57家，形成了“6+N”产业发展体系。

为何辽宁能长出这一片半导体设备“森林”？答案是：工业基础是“土壤”，产业集聚是“阳光”，而科教基因是“种子”。辽宁省工业门类齐全且体系完备，国民经济行业41个工业大类，辽宁拥有40个。

新松半导体总经理程龙表示，沈阳制造业有着得天独厚的优势，半导体装备核心零部件的产业配置完善。沈阳市发改委相关负责人称，早在2004年，沈阳就成立了全国第一个集成电路装备制造业产业基地，如今正推进“一主两翼”产业空间布局建设。

在“辽宁集群”崛起之路上，科研基因起到了关键作用。辽宁科教实力雄厚，全省共有高等院校114所。辽宁半导体产业版图深植“中国科学院基因”，多家龙头企业的发展源头可追溯至中国科学院科研院所。

沈阳自动化研究所的产业孵化能力尤为突出，其控股的机器人孕育了新松半导体，芯源微的创立同样源自该所。科教埋下的“种子”，在多方合力下茁壮成长，让辽宁生长出了覆盖全产业链的“半导体设备森林”。

辽宁半导体设备企业从“活下来”到“活得好”，离不开政策和金融力量支撑的“三步棋”。拓荆科技董事长吕光泉表示，国家科技重大专项功不可没，拓荆科技、芯源微等均承担着部分研发任务，并获得了资金支持。

吕光泉认为，中国的产业政策在半导体设备领域起到了实效。2014年，国家大基金一期成立，近七成资金投入集成电路制造领域。迄今为止，已成立三期国家大基金，总注册资本超过6400亿元。

和研科技总经理余胡平表示，2022年12月，和研科技在B+轮融资中获得了国家大基金二期的投资。辽宁半导体设备企业“从10到100”的路，得益于科创板提供的多项助力。

2019年12月16日，芯源微在科创板上市，成为“辽宁省科创板第一股”，带动了一批沈阳半导体设备企业赴科创板上市。2022年4月，拓荆科技在科创板上市，同年10月，富创精密登陆科创板。

向科创板的“一跃”，让辽宁半导体设备企业有了充足的资金去扩张产能、研究技术。同时，科创板的股权激励政策也让半导体设备企业能更从容地面对行业激烈的人才争夺战。

吕光泉认为，对许多半导体设备企业来说，从国家科技重大专项到国家大基金再到科创板上市，这三环每一环都不可或缺，有了持续的资金加持，前期踏踏实实搞研发、真正有技术突破的企业才能实现“从0到100”的腾飞。

这背后，是辽宁多个城市让营商环境“改天换地”，树立了极强的服务企业的意识。沈阳市发改委等政府部门以“店小二”式的服务态度帮企业排忧解难。

沈阳市发改委相关负责人举了这样一个案例：在拓荆科技半导体先进薄膜设备产业化基地项目落地沈阳过程中，沈阳市发改委主动倾听企业诉求，多次组织召开协调会议，最后成功解决了企业门前路段贯通等问题。

沈阳市委金融办则以“全周期护航”的态度陪伴企业发展。沈阳市委金融办副主任韩宾表示，在前端，市委金融办建立了“上市快速响应机制”，对企业改制涉及的问题适时启动“上市联席会议制度”。

“在中端，沈阳市委金融办为企业协调并购贷款、融资担保等金融服务。在后端，市委金融办设立了上市服务专班，为企业配备‘上市服务秘书’。”韩宾表示。

辽宁省地方金融管理局副局长战巍表示，他们就是服务员。目前，辽宁有上市辅导备案企业近30家。对上市后备梯队企业的“弯腰服务”，让辽宁在资本市场收获累累硕果。

自2019年以来，辽宁新增境内上市公司22家，占到了目前84家上市公司的26.2%。战巍表示，目前辽宁上市后备库企业共470家，其中科技型企业近350家。

尽管在资本市场上，辽宁已点燃“芯”星之火，但想让其成燎原之势，仍需在多方面持续发力。其一，需强化创投生态。辽宁省正积极改善创投发展生态，去年成功举办首届辽宁产投融合发展大会。

辽宁省还推出给予创投机构财政资金激励等系列支持措施，相继吸引22只基金在辽宁省注册落地。辽宁还上线了“创投辽宁”股权投融资服务平台，一年来助力20余家企业获得股权融资5.7亿元。

其二，辽宁以重工业为主，为了“强链、固链、延链”，沈阳市积极谋划集成电路设计等一批重点项目，填补在产业链上的“空白地带”。沈阳市发改委表示，沈阳重点围绕产业链上下游配套，推进一批项目签约落地。

“我们的目标是：将沈阳建设成为具有国际重要影响力和竞争力的集成电路装备产业基地。”沈阳市发改委相关负责人表示。在一个又一个战场，以沈阳为代表的辽宁城市正打响长期的攻坚战役。

（文章来源：证券时报）

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